[서울파이낸스 이서영 기자] SK하이닉스는 반도체 공정에 인공지능(AI) 솔루션을 도입해, 수율(결함없는 합격품 비율) 개선에 나선다고 10일 밝혔다.
SK하이닉스는 지난달부터 가상 계측 AI솔루션 판옵테스 VM(Panoptes Virtual Metrology) 소프트웨어 제품을 양산 팹(Fab)에 도입해 사용한다.
판옵테스는 SK하이닉스가 투자한 산업 AI 전문 스타트업 '가우스랩스'에서 지난 11월 출시한 솔루션이다.이 제품은 AI 기술을 활용해 장비 센서 등의 데이터로 제조 공정 결과를 예측할 수 있다. 생산 운영 효율을 높일 뿐 아니라 불량품 발생도 줄일 수 있다.
SK하이닉스가 웨이퍼 위에 얇은 막을 씌우는 '박막 증착' 공정에 판옵테스를 적용한 결과, 이미 실제 계측 장비와 유사한 예측 정확도로 품질이 개선되는 효과를 낸다.
가상 계측 결과에 따르면, 공정 제어에 반영하자 공정 산포(해당 공정에서 생산된 제품들의 품질 변동 크기)는 평균 21.5% 개선됐다.
김영식 SK하이닉스 제조·기술 부사장은 "반도체 개발 및 생산 전반에 AI 기술을 접목해 기술 우위를 지속적으로 확보해 갈 것"이라고 말했다.
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